半導体製造装置等に使われるマスフローコントローラーの性能評価方法として、SEMIスタンダードで試験方法が規定されています。
（SEMI E66-0611）

本資料では、性能評価に使用可能な粒子計測器を紹介いたします。

測定イメージ（テストフロー＞サンプルフロー）

試験の流れ
①マスフローコントローラーで窒素、アルゴンの流量を制御
②試験マスフローコントローラー
③等速サンプリング
④試験MFCからの発塵を計測

一般的なパーティクルカウンター（LPC)の最小検出粒子径は0.1～0.3 μmですが、近年より小さいパーティクルの計測が求められて来ております。
CPC(CNC)というカウンターであれば、ナノレベルから計測可能です。

凝縮粒子カウンターCPC（CNC)　Water-based

最小2.2 nmから計測可能

凝縮液：水
・リアルタイムに粒子個数濃度を検出
・最小2.2 nm～　ナノ粒子を計数可能　　
・ナノ粒子の計測器として世界的に標準機器として使用されている
・早い応答性（T90 ＜0.6秒）

凝縮粒子カウンターCPC（CNC)　　

最小1nmから計測可能
凝縮液:アルコール
※1 nmのモデルはブタノール+DEG

・リアルタイムに粒子個数濃度を検出
・最小1 nm～　ナノ粒子を計数可能検出可能サイズはモデルにより異なります。
・高濃度対応モデル等用途に応じた様々なモデルがございます

レーザーパーティクルカウンター（LPC）　　

最小0.1 μmから計測可能

・リアルタイムに粒子個数濃度を検出
・大流量　28.3 LPM（1.0 CFM)
・8チャンネルまで同時計測

エアロゾル計測、粒子捕集、粒子発生については東京ダイレックにご相談下さい
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