半導体製造装置等に使われるマスフローコントローラーの性能評価方法として、SEMIスタンダードで試験方法が規定されています。
（SEMI E66-0611）
本資料では、性能評価に使用可能な粒子計測器を紹介いたします。
測定イメージ（テストフロー＞サンプルフロー）
試験の流れ
①マスフローコントローラーで窒素、アルゴンの流量を制御
②試験マスフローコントローラー
③等速サンプリング
④試験MFCからの発塵を計測
一般的なパーティクルカウンター（LPC)の最小検出粒子径は0.1～0.3 μmですが、近年より小さいパーティクルの計測が求められて来ております。
CPC(CNC)というカウンターであれば、ナノレベルから計測可能です。
凝縮粒子カウンターCPC（CNC) Water-based
最小2.2 nmから計測可能
凝縮液：水
・リアルタイムに粒子個数濃度を検出
・最小2.2 nm～ ナノ粒子を計数可能
・ナノ粒子の計測器として世界的に標準機器として使用されている
・早い応答性（T90 ＜0.6秒）
凝縮粒子カウンターCPC（CNC)
最小1 nmから計測可能
凝縮液:アルコール
※1 nmのモデルはブタノール+DEG
・リアルタイムに粒子個数濃度を検出
・最小1 nm～ ナノ粒子を計数可能検出可能サイズはモデルにより異なります。
・高濃度対応モデル等用途に応じた様々なモデルがございます
レーザーパーティクルカウンター（LPC）
最小0.1 μmから計測可能
・リアルタイムに粒子個数濃度を検出
・大流量 28.3 LPM（1.0 CFM)
・8チャンネルまで同時計測
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