半導体用ガスフィルタの捕集効率は、SEMIスタンダードで性能評価の試験方法が規定されています。（SEMI F38-0699）
本資料では、性能評価に使用可能な装置を紹介いたします。
試験の流れ
① 試験粒子を発生（NaClなど）
② 試験粒子を評価サイズに分級（0.05μmなど）
③ 試験粒子を中和
④ 試験粒子を安定
⑤ 試験ガスフィルタ
⑥ フィルター上流/下流の粒子数を計数
⑦ 計数結果から効率を算出
凝縮粒子カウンターCPC（CNC)
• リアルタイムに粒子個数濃度を検出
• 最小1nm～ ナノ粒子を計数可能
検出可能サイズはモデルにより異なります
• ガスフィルタの上流/下流を計測しナノ粒子に対する
効率評価が可能
• ナノ粒子の計測器として世界的に標準機器として使されている
• HEPA/ULPAといった高性能フィルタの性能評価でも 広く活用
静電分級器（DMA）
• 発生した粒子を分級、単分散化
• 粒径範囲（分級器として）
Long DMA (3081A)：8～1150nm
Nano DMA (3085A)：1.5～150nm
1nm DMA (3086 )：1～50nm
• 粒径範囲（SMPSとして）
Long DMA (3081A)：10～1000nm
Nano DMA (3085A)：2～150nm
1nm DMA (3086) ：1～50nm
粒径分布計測器（SMPS）
• 静電分級器（DMA）と凝縮粒子カウンター（CPC）を組合せる事で最小1nm～粒径分布の測定が可能
ナノ粒子発生器
• 単分散ナノ粒子の安定発生が可能
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