クリーンルームの清浄度評価

半導体製造は、空気中に浮遊しているパーティクル（微粒子）が製品の不良品率に大きく作用してしまうため、製造工場内（クリーンルーム）の空気清浄度が重要である。クリーンルームの清浄度は、国際規格（ISO 14644-1）に基づいて評価されており、クラス1～9の等級で清浄度が表される。
気中パーティクルカウンター AeroTrak シリーズは、クラス1(ISO 14644-1)に対応したモデルから、低コストで小型のモデルまで幅広くラインナップしており、リアルタイムで粒子径や粒子個数のモニタリングが可能なため、クリーンルームのパーティクル管理に適している。
　

パーティクルカウンターの測定原理

パーティクルカウンター(微粒子計測器) の測定原理は、光散乱方式を用いており、粒子にレーザー光を照射した場合に発する散乱光をフォトディテクターへ集光し、電圧信号に変換することで、電圧信号の強さより粒子径の情報、電圧信号の数の多さで粒子個数の情報を得ることが可能となる 。

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・フォトディテクターは光源に対して、角度をつけて配置されている。
・凹面鏡によって、一定範囲の角度の散乱光をフォトディテクターへ集光する。

AeroTrak シリーズ製品一覧

※一部製品はモデル名または製品画像から詳細ページにアクセスが可能です。

清浄度モニタリングシステム

AeroTrak9110、AeroTrak9310-02は、切替機（マニホールド）を使用することにより、1台のパーティクルカウンター
で、複数の測定ポイントを測定することが可能。

流路切替方式（マニホールド）　※対象パーティクルカウンターはAeroTrak9110、AeroTrak9310-02のみ。

◆パーティクルカウンター1台で複数のポイントを順次切り替えながら測定。
◆1システムで最大32ポイントの測定が可能。
◆チューブは各50 mまで仲長可能。
◆全ポイントを常時吸引させることでチューブ内の粒子沈着を抑制。

クリーンルームにおけるパーティクルの課題

微細化の進歩とともに、パーティクルの対策が一層重要となってきているが、一般的なパーティクルカウンターでは、より微細な粒子の測定は困難である。

凝縮粒子カウンター（CPC）により、ナノレベルのパーティクル測定が可能。

CPCは一般的なパーティクルカウンターでは計れない、シングルナノ～の粒子がリアルタイムに計測が可能。
注：粒子個数濃度の時間的変化が追うことが可能。（粒子径情報はなし）

凝縮粒子カウンター/CPC（Condensation Particle Counter）の測定原理

凝縮粒子カウンター（CPC）は、サチュレーター部、コンデンサー部及び光学検出部から構成され、粒子検出部の原理自体は一般的なパーティクルカウンターと同じく、レーザー光を照射した対象粒子からの散乱光検出による。
サンプルインレットから吸引された浮遊パーティクルは、既定温度に加熱されたサチュレーター部を通過する。そこで、凝縮液のアルコールは気化し、サンプルエアー中に拡散する。
次に、エアロゾル粒子と気化したアルコールは、既定温度に冷却されたコンデンサー部を通過する。この時、アルコールが過飽和状態となり、浮遊パーティクルを核として凝縮する。
アルコールで凝縮成長した浮遊パーティクルは、レーザーで検出可能な大きさに成長するため、個数計測が可能になる。

凝縮粒子カウンター（CPC） 製品一覧

※一部製品はモデル名または製品画像から詳細ページにアクセスが可能です。

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