製品情報

湿式シングルナノ粒子径分布計測 CMPスラリ、洗浄液(超純水/IPA/過酸化水素水)製品一覧

  • LiquiScanシステム

    DMA法による液中 粒径分布計測装置

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  • 走査式モビリティーパーティクルサイザー　SMPS 3938シリーズ

    DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器

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  • 静電分級器 3082/LongDMA 3081A/ NanoDMA 3085A

    高分解能エアロゾル分級器
    　

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  • エレクトロスプレー（軟X線型）Model 3482

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  • 定出力エアロゾルアトマイザー　3076

    サブミクロン領域の高濃度エアロゾル粒子を安定して発生することが可能

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  • エアロゾルアトマイザー　3079A

    溶媒中からサブミクロン領域のエアロゾル粒子を発生できる噴霧式発生装置

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  • エレクトロスプレー式粒子発生器　3480

    エレクトロスプレー法により、単分散ナノ粒子を安定して発生することが可能

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  • 軟X線中和器 Advanced Aerosol Neutralizer Model 3088

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  • スポットサンプラー　110Aシリーズ （Series 110A Spot Sampler）

    空間中のナノ粒子を集中的に捕集サンプリング

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